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: 晶圆研磨废水处理回用工艺

晶圆研磨是半导体制造过程中的重要环节之一，用于确保晶圆表面的平整度和平滑度。在研磨过程中会使用大量的研磨液和超纯水，从而产生含有悬浮物、金属离子等污染物的废水。这些废水如果未经适当处理直接排放，会对环境造成污染。因此，开发高效的晶圆研磨废水处理回用技术对于环境保护和资源节约具有重要意义。

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