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: 晶圆清洗废水处理回用工艺

在晶圆制造过程中，尤其是清洗工序，会产生大量的废水。这些废水含有多种有害物质，如重金属离子、有机溶剂、酸碱性物质等，如果未经处理直接排放，将对环境造成严重污染。因此，研究和实施有效的晶圆清洗废水处理及回用技术，对于保障生态环境安全、节约水资源具有重要意义。

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