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晶圆切片废水处理回用工艺

晶圆切片废水处理回用工艺

在半导体制造过程中,晶圆切片是至关重要的一步,它涉及到使用高纯度的水和化学试剂来切割硅晶圆。这一过程产生的废水含有大量的悬浮颗粒、金属离子和有机污染物,直接排放会对环境造成严重污染。因此,开发高效且经济的晶圆切片废水处理与回用技术对于减少环境污染和节约水资源至关重要。

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